SpecEl-2000-VIS

Produkt Information

Das SpecEl-2000-VIS ist ein kompaktes und leicht zu bedienendes Tischgerät. Dieses spektroskopische Ellipsometer ist ideal zum messen sehr dünner Schichten auf ebenen Substraten wie z. B. Silizium-Wafer oder Glas. Schichtdicke, Brechungsindex, Absorption oder Komponenten Verhältnisse werden sehr präzise bestimmt.

Grundlage für eine erfolgversprechende Messung ist das Vorhandensein von transparenten und halb transparenten Schichten.

Abhängig von Film- und Substratmaterial können Schichtdicken im Bereich von 1nm bis 8µm bestimmt werden.

Bei der spektroskopischen Ellipsometrie werden relative Phasen- und Amplituden-Änderungen des Lichts gemessen. Aus diesem Grund können verschiedene Parameter gleichzeitig bestimmt werden. Dies ist ein großer Vorteil gegenüber der Reflektometrie wo nur die absolute Intensität des Lichts gemessen wird.

Es sind keinerlei Referenzmessungen erforderlich

Während im Hintergrund eine sehr mächtige Analyse Software mit unterschiedlichsten Modellierungsmöglichkeiten wie Cauchy, OJL, Tauc-Lorentz, Drude, EMA, verschiedene Arten von Oszillatoren, rechnet, ermöglicht die Standard Oberfläche das einfache Messen mittels einer simplen Ein-Knopf-Bedienung.