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Unsere Dünnschicht Mess- und Plasma Kontrollsysteme sind sehr kompakte, präzise, modulare und flexible Tischgeräte.


Plasma Monitoring
Das PlasCalc-2000 Plasma Monitoring- und Prozess Kontroll-System basiert auf der optischen UV/VIS/NIR Emissions-Spektroskopie.
Das System kann für alle produktionstechnischen Bedürfnisse flexibel programmiert werden.
  Ellipsometrie
Die im sichtbaren Spektrum arbeitenden spektroskopischen Ellipsometer SpecEl-2000 bestechen durch ihre kompakte Bauweise und messen sehr präzise nicht nur Schichtdicken im Bereich von 1nm bis 5µm sondern auch Brechungsindex und Absorption.

Reflektometrie
Unsere faseroptischen NanoCalc-2000 Reflektometer arbeiten im UV/VIS/NIR Spektralbereich und messen Schichtdicken von 10nm bis zu einigen hundert Mikrometern. Die Faseroptik ermöglicht einen extrem einfachen und flexiblen Einsatz auch zur Systemintegration.