PlasCalc-2000

Produkt Information

Breitbandige faseroptische Spektralanalyse in Echtzeit
Mit seinem hoch auflösenden faseroptischen Miniaturspektrometer von Mikropack, ausgestattet mit einer 2048Pixel CCD-Kamera und extrem schneller Akquisitionselektronik, erfaßt das PlasCalc Plasma-Emissionen im Wellenlängenbereich von 200 bis 1100nm in 3ms. Das sehr ausgereifte PlasCalc Prozesskontrollsystem besticht mit hoch entwickelten Algorithmen zur Datenerfassung und Signalverarbeitung.

Rezept Schnelleditor
Dieses Programm ermöglicht Prozessingenieuren durch Einfachklick-Navigation die schnelle Erstellung effizienter Prozessrezepte. Alle Funktionen können sehr leicht kombiniert werden und ermöglichen so die Erstellung robuster Rezepte für schwierigste Plasma-Prozesse.

Komponenten zur effizienten Plasmadiagnose
Der integrierte Formeleditor ermöglicht den Schnellzugriff auf eine Vielzahl mathematischer Funktionen. Optional ist eine Emissionswellenlängen Bibliothek erhältlich die eine schnelle Identifikation von Spektrallinien ermöglicht. Mit dem Wellenlängeneditor kann das signal-to-noise Verhältnis optimiert werden. Aktuelles Spektrum sowie Prozess Monitoring einschließlich Endpoints werden in einem übersichtlichen Doppelfenster dargestellt. Zusätzlich zu den Endpoints informiert das Prozess Monitoring Fenster über alle Ereignisse während des Prozesses um Prozessschwankungen frühzeitig zu erkennen.

Exakte Endpoint-Bestimmung bei geringsten Packungsdichten
Es können die verschiedensten Spektrallinien des gesamten Spektrums simultan genutzt werden. Dadurch können zur Steuerung schwierigster Prozessbedingungen wie z.B.: geringe Packungsdichten, Mehrlagen Ätzungen oder Trenches, sehr robuste Rezepte erstellt werden

Digitale Prozessnachbearbeitung
Nachdem ein Prozeßablauf in der Datenbank gespeichert wurde kann er jederzeit zur Prozessoptimierung digital wiederholt werden. Dies minimiert die Anzahl von Prozessversuchen.

Jeder Prozessablauf kann für nachträgliche Simulations- oder Analysezwecke gespeichert werden.

Voll anschlussfähig
Das USB-Interface Konzept ermöglicht den vollständigen Hardware Anschluß mittels nur einer USB Verbindung. Die Kontrolleinheit ist mit digitalen Ein- und Ausgängen sowie analogen Signalausgängen ausgestattet. Dadurch kann das PlasCalc problemlos mit Prozessanlagen und Fabriksteuerungs- systemen verbunden werden.