Hier einige mit dem NanoCalc-2000 bereits erfolgreich realisierten Anwendungen:
- Messung von dielektrischen Schichten auf Wafern oder Glas
(SiO2, Si3N4, Fotolack, ITO, ...)
- Sehr dünne metallische Schichten auf Wafern oder Glas (Ag, Al, Au, Ti, ...)
- SOI Siliziumdicken-Messung (Silicon On Isolator)
- Dickenmessung von gedünntem Siliziumwafer (< 120µm)
- Fotolack-Schichtdickenverteilung auf Halbleitermaske
- DVD/CD Beschichtungen
- Linsenbeschichtungen (Antikratz- und Antireflexions-Schichten)
- DLC (Diamond Like Carbon) Härtungsschichten
- Foliendicken
- Luftspalt zwischen Maske und Wafer bei Belichtungsanlagen
- Sehr dicke Fotolacke im Bereich der Mikromechanik (100µm bis ca. 250µm)
- Beschichtungen in Flaschen und Spritzen
- Integration in vorhandene Belackungsanlage bzw. Ätzanlage zur Online-Prozesskontrolle
- und viele mehr ...
Bitte lassen Sie uns Ihre spezielle Messaufgabe wissen.
Gerne führen wir für Sie eine erste Testmessung durch.