Produkt Information

Das NanoCalc-2000 Schichtdicken-Messgerät ist das ideale System für die schnelle, zuverlässige und einfache Messungen transparenter und halbtransparenter dünner Schichten.

Je nach Schicht- und Substratmaterial können Schichten von wenigen Nanometern bis hin zu einigen hundert Mikrometern gemessen werden.

Der große verfügbare Spektralbereich von 250nm (UV) bis 1100nm (NIR), sowie die speziellen Auswertealgorithmen erlauben nicht nur die Messung von optischen Standardschichten wie Oxide, Nitride, ITO und Fotolacke auf Ideal-Substraten wie Silizium-Wafer oder Glass, sondern auch kritische Schichten wie DLC (Diamond like Carbon) auf Metallen, Schichten auf unpoliertem Stahlblech oder auch Foliendicken.

Durch die kurzen Messzeiten und die flexible Positionierung der Fasersonde eignet sich dieses Meßsystem besonders gut zur Integration in vorhandene Maschinen, zur Adaption an nahezu beliebiges Mikroskop und zur In-Situ Prozesskontrolle.

Optional ist auch die Messung von Mehrfachschichten, 3D-Dickenprofilermittlung mit motorischem 150mm bzw. 300mm Mappingtisch, sowie Online-Messwerterfassung und ActiveX Remote-Steuerung möglich. 

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