Konfiguration  / mit Mikroskop

Die Adaption des NanoCalc-2000 Schichtdickenmessgerätes an ein Mikroskop erlaubt die Reduzierung der Messspotgröße auf nur ca. 4µm Durchmesser je nach verwendeter  Mikroskopvergrößerung.

Mit dem MFA-C-Mount Adapter ist es möglich die Standard Fasersonde an nahezu beliebiges Mikroskop mit C-Mount Kameraanschluss zu adaptieren (z.B. Leitz/Leica, Zeiss, Reichert, Olympus, Nikon). Wichtig ist die Verwendung einer gut stabilisierten Spannungsversorgung für die Mikroskoplichtquelle, da in der Regel in diesem Fall für die Messung die Mikroskoplichtquelle eingesetzt wird.

Vorteile bei Messungen mit Mikroskop:

• exakte Positionierung der Messposition und zudem visuelle Kontrolle und Beurteilung der Proben Oberfläche.
• ermöglicht eine zuverlässige Messung auf kleinsten Messstellen auf strukturierten Proben
• einfache und genaue Fokussierung auch bei unterschiedlichen Probendicken
• auf sehr rauhen oder inhomogenen Proben erlaubt erst der sehr kleine Messspot ein, für die Schichtdickenmessung ausrechendes Interferenzsignal.

Einschränkungen durch den Einsatz mit Mikroskop:

• Die meisten Mikroskope sind nur für den visuellen Spektralbereich ausgelegt (400 bis 800nm), so dass nur dieser Bereich optimal für die schichtdickenmessung nutzbar ist. Im Falle von speziellen UV bzw. NIR/IR Mikroskopen ist selbstverständlich auch ein entsprechend größerer Spektralbereich möglich.